内六角M5螺丝的规格尺寸主要包括以下几个方面：
1. 公称直径：M5螺丝的公称直径即大径内5毫米，螺距为0.8毫米。
2. 头部尺寸：M5螺丝的头部直径最大值为8.5毫米，高度最大值为5毫米，内六角对边尺寸为4毫米，对角尺寸为4.5毫米，深度为2.5毫米。
3. 螺纹长度：M5螺丝的螺纹长度一般在8~50毫米，具体长度需要根据工件需要的紧固厚度来确定。
4. 沉头孔直径：M5螺丝的沉头孔直径一般为10毫米，如果加工精度要求高的话，沉头孔直径可以做9.1毫米。
5. 扭矩：M5螺丝的扭矩一般为8MM。
需要注意的是，以上尺寸是M5螺丝的一般尺寸，具体尺寸可能会因生产厂家和具体应用环境而有所不同。