对已知的XPS峰可以直接用Origin 进行拟合，如果不知道 可以先用caseXPS简单拟合下。以O 1s峰为例，首先第一步打开Origin软件，将测得的XPS表格里面两列有效数据拖入Origin 表格中

选中纵坐标数据，选择下方画图工具

绘制图形

依次选择 “分析 ”、“峰和基线” 、“峰分析”“打开对话框”

依次点击下面三个按钮

选择XPS然后下一步

再点击下一步

选择自动拟合基线 下一步

取消对勾 选择添加 是指手动添加峰的位置

对话框 弹到画图界面 出现中奖正方形鼠标箭头 双击即可确定峰位 确定的好的峰位出现红色直线 选择“done”表示完成

回到刚才的界面 这时候点击下一步

这时候图像已经出现自动拟合的峰  点击控制拟合

此时弹出一个新的对话框 可以对照图形来调整拟合峰 红色箭头依次表示 峰强 峰位 峰宽 蓝色箭头 a表示一键拟合 b 表示逐步拟合 拟合中出现错误可以点解返回箭头 

对照图谱 拟合完成后 点击 done 回到刚刚界面 点击finish 即可完成 得到一份分析图片 框选部分则是分析数据 包括面积 面积比以及半峰宽等

以上就完成了origin 拟合XPS峰，此外 分析里面还有各种拟合 感性的同学可以自己尝试哦